合封芯片

芯片研磨 为什么芯片制造中在晶圆研磨抛光后一定要进行清洗呢

小编 2025-02-19 合封芯片 23 0

为什么芯片制造中在晶圆研磨抛光后一定要进行清洗呢

Hello,大家好,我们今天来聊聊半导体制造中CMP(化学机械研磨)后为什么需要清洗。其实在CMP(化学机械研磨)完成后有颗粒残留在晶圆表面,且难以清洗,所以需要进行清洗?那有什么办法解决呢?

在分析问题之前我们先弄清楚为什么会有颗粒残留:CMP(化学机械研磨)后,不仅有晶圆的残留物,还有磨料残留物(如金刚石、二氧化硅微粒)和其他CMP副产物(如金属离子、有机物等)被机械力嵌入或化学结合到 SiC 衬底表面,导致表面污染,如果不彻底清洗,可能会在后续的光刻、刻蚀等工艺中引发严重的缺陷,所以需要及时清洗。

CMP后的颗粒可以采用如下的解决方法:

1、CMP后清洗:利用PVA(聚乙烯醇)材质的刷子,再结合超声波的振动能量与机械摩擦相结合去除残留颗粒和化学物资等。PVA刷子的柔软性确保了清洗过程中不会对晶圆表面造成机械损伤,而超声波的引入则显著增强了清洗液的渗透力和颗粒的剥离效果。

2、多步骤‬的‬清洗:为提高清洗效率与效果,需要‬进行多步骤‬的‬清洗流程。首先,初次‬使用清洗液去除大部分松散的颗粒和杂质;然后,再‬采用更精细的清洗液和工艺,对‬顽固残留颗粒进行深度清洁。这种多步骤、分层次的清洗策略,能够更有效地解决晶圆表面的复杂污染问题。

3、调整抛光参数:适当降低抛光压力和速度,减少颗粒嵌入表面的冲击力,从而降低颗粒嵌入表面的风险。这个需要反复试验找到最佳工艺参数组合

4、更换抛光垫,抛光液等:抛光垫的材质、硬度、表面形貌。抛光液的成分、浓度、PH值等因素,都会‬影响CMP过程中的颗粒残留产生,所以,需要定期更换磨损严重的抛光垫,以及通过调整抛光液的配方来优化CMP效果,找到与晶圆相匹配的最佳抛光液等。

大家有什么意见或建议,欢迎留言或私信,小编也在一边学习一边成长.

点击上方“芯小虎”关注我,分享更多的芯片知识和新闻。

如果喜欢,请"点赞"+"在看"✿,谢谢。

芯恩(青岛)集成电路申请一种平坦化处理方法专利,避免控制研磨时间不能准确控制研磨终点导致研磨后基底形貌不能满足工艺要求的问题

金融界 2024 年 9 月 10 日消息,天眼查知识产权信息显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司申请一项名为“一种平坦化处理方法“,公开号 CN202310215383.3 ,申请日期为 2023 年 3 月。

专利摘要显示,本发明公开了一种平坦化处理方法,该平坦化处理方法用于平坦化形成于半导体结构上的层间介电质层(ILD),具体包括:提供一基底,基底的表面具有凸起区和平坦区。在基底的表面上形成第一子介电层,在第一子介电层的表面上形成研磨停止层,在研磨停止层的表面上形成第二子介电层,沿第二子介电层的表面进行化学机械研磨至研磨停止层,使研磨界面平坦化,同步刻蚀平坦化的研磨界面,直至将研磨停止层完全刻蚀掉。由此,本发明在对基底平坦化的过程中,能够有效的控制研磨厚度,避免控制研磨时间不能准确控制研磨终点导致研磨后基底形貌不能满足工艺的要求的问题,并减少化学机械研磨后的层间介电层的轮廓对后续器件良率的影响。

本文源自金融界

相关问答

直线气缸内部结构的原理?

引导活塞在其中进行直线往复运动的圆筒形金属机件。工质在发动机气缸中通过膨胀将热能转化为机械能;气体在压缩机气缸中接受活塞压缩而提高压力。涡轮机、旋...

丝网印刷的气缸有什么作用?

气缸的作用:将压缩空气的压力能转换为机械能,驱动机构作直线往复运动、摆动和旋转运动。1、气缸是引导活塞在缸内进行直线往复运动的圆筒形金属机件。工质在...

气缸副杆可以旋转吗?

气缸杆不能经常旋转。旋转活塞杆会加速防尘圈跟活塞杆及活塞圈耐磨带跟气缸缸壁的摩擦,影响使用寿命。1、气缸是引导活塞在缸内进行直线往复运动的圆筒形金属...

汽车排气筒前的气缸作用?

气缸的作用:将压缩空气的压力能转换为机械能,驱动机构作直线往复运动、摆动和旋转运动。1、气缸是引导活塞在缸内进行直线往复运动的圆筒形金属机件。工质在...

沙子为什么能制造成计算机芯片的硅?_作业帮

[最佳回答]硅是由石英沙所精练出来的,晶圆便是硅元素加以纯化(99.999%),接着是将些纯硅制成硅晶棒,成为制造积体电路的石英半导体的材料,经过照相制版,研磨,抛...

什么是气缸?

气缸(Cylinder)是内燃发动机中的一个重要组成部分,用于容纳活塞和产生燃烧室。每个气缸通常由一个长方体或圆柱体构成,它是发动机的一个工作单元。汽缸通常安...

【气缸寿命的指标是什么次数还是米数】作业帮

[回答]引导活塞在缸内进行直线往复运动的圆筒形金属机件.工质在发动机气缸中通过膨胀将热能转化为机械能;气体在压缩机气缸中接受活塞压缩而提高压力.涡轮...

自制芯片的主要内容?

(1)硅片制备。首先是将硅从矿物中提纯并纯化,经过特殊工艺产生适当直径的硅锭。然后将硅锭切割成用于制造芯片的薄硅片。最后按照不同的定位边和沾污水平等...

09天籁v6缸数怎么区分?

方法是根据其所处的位置进行区分:1、左侧:为即为缸组1分别为1、3、5缸。2、右侧:即为缸组2即为2、4、6缸。有关气缸的资料如下:1、气缸:引导活塞在缸内...

直线气缸工作原理

[回答]引导活塞在其中进行直线往复运动的圆筒形金属机件。工质在发动机气缸中通过膨胀将热能转化为机械能;气体在压缩机气缸中接受活塞压缩而提高压力。涡...

猜你喜欢